圖表1：集成電路裝備與關鍵材料在集成電路產業鏈所處環節

圖表2：集成電路設備的分類

圖表3：集成電路材料分類

圖表4：《國民經濟行業分類與代碼》中集成電路裝備與關鍵材料行業歸屬

圖表5：“專精特新”特征分析

圖表6：“專精特新”企業分類

圖表7：制造業單項冠軍企業申報條件

圖表8：隱形冠軍標準條件

圖表9：“專精特新”相似概念辨析

圖表10：2019-2022年中國登記在冊企業數量（單位：萬戶）

圖表11：2019-2022年中國規模以上工業中小企業營業收入、利潤總額增長率（單位：%）

圖表12：中小企業對中國經濟發展的貢獻（單位：%）

圖表13：2018-2022年中國中小企業發展指數（SMEDI）

圖表14：2013-2022年中國制造業增加值（單位：萬億元）

圖表15：“國內國際雙循環”發展格局

圖表16：2020-2022年全球經貿摩擦指數月度走勢

圖表17：中國被“卡脖子”的35項關鍵技術

圖表18：“專精特新”發展歷程

圖表19：本報告研究范圍界定

圖表20：本報告數據來源及統計標準說明

圖表21：2017-2022年全球半導體設備及關鍵材料行業市場規模（單位：億美元）

圖表22：2022年全球半導體設備行業市場結構（單位：%）

圖表23：2017-2022年全球半導體關鍵材料行業結構（單位：%）

圖表24：全球集成電路產業遷移分析

圖表25：全球集成電路產業遷移空間圖

圖表26：2020-2022年全球半導體設備行業區域發展格局（單位：%）

圖表27：2020-2022年全球半導體材料行業區域發展格局（單位：%）

圖表28：2022年全球集成電路設備商TOP10（按銷售額）（單位：億美元）

圖表29：2022年全球集成電路設備商TOP10/垂直領域設備商TOP7

圖表30：全球集成電路材料行業企業競爭格局（按主要領域分）

圖表31：2017-2022年中國大陸半導體設備及關鍵材料行業市場規模（單位：億美元）

圖表32：2017-2022年中國大陸半導體設備及關鍵原材料市場規模占全球比重情況（單位：%）

圖表33：中國集成電路設備細分產品比例情況（單位：%）

圖表34：中國集成電路材料細分產品比例情況（單位：%）

圖表35：2020-2022年中國半導體設備銷售收入TOP10（單位：億元）

圖表36：中國大陸十大半導體材料企業

圖表37：半導體行業技術迭代歷程

圖表38：中國半導體關鍵材料行業發展歷程

圖表39：中國集成電路裝備及關鍵材料技術進展

圖表40：2013-2022年中國集成電路裝備相關專利申請情況（單位：件）

圖表41：截至2022年中國集成電路裝備相關專利申請TOP10省份（單位：件）

圖表42：2013-2022年中國集成電路關鍵材料相關專利申請情況（單位：件）

圖表43：截至2022年中國集成電路關鍵材料相關專利申請TOP10地區（單位：件）

圖表44：中國集成電路裝備行業技術發展趨勢

圖表45：國內半導體晶圓制造材料產業發展趨勢

圖表46：國內半導體封裝材料產品發展趨勢

圖表47：2018-2022年中國主要半導體設備制造商銷售收入占國內半導體設備市場比重（單位：億元，%）

圖表48：中國主要集成電路設備國產化率（單位：%）

圖表49：中國主要集成電路關鍵材料國產化率（單位：%）

圖表50：中國集成電路設備行業代表性企業布局

圖表51：中國集成電路關鍵材料行業本土企業布局情況

圖表52：中國集成電路裝備與關鍵材料行業發展機遇與挑戰分析

圖表53：2014-2022年中國集成電路裝備及關鍵原材料行業重點發展政策匯總及解讀

圖表54：截至2022年中國集成電路裝備與關鍵材料行業相關發展規劃匯總-國家層面

圖表55：中國集成電路裝備與關鍵材料行業相關規劃發展歷程

圖表56：截至2022年中國集成電路裝備與關鍵材料行業“專精特新”發展重點政策匯總-國家層面

圖表57：《2008-2022年國家信息化發展戰略》政策解讀

圖表58：《2008-2022年國家信息化發展戰略》中集成電路裝備與關鍵材料行業“專精特新”的相關內容

圖表59：《關于印發“十四五”促進中小企業發展規劃的通知》政策在“專精特新”方面的解讀

圖表60：《第十三屆全國人民代表大會第五次會議關于2021年中央和地方預算執行情況與2022年中央和地方預算的決議》政策在集成電路裝備與關鍵材料行業“專精特新”方面的解讀

圖表61：中國“十四五”規劃對于集成電路裝備與關鍵材料 “專精特新”發展的影響

圖表62：“國內國際雙循環”發展格局

圖表63：集成電路裝備與關鍵材料 “專精特新”發展的政策機遇

圖表64：中國集成電路裝備與關鍵材料行業“專精特新”領域融資方式（單位：%）

圖表65：中國集成電路裝備與關鍵材料行業“專精特新”領域投融資主體

圖表66：中國集成電路裝備與關鍵材料行業“專精特新”領域代表性企業投融資事件匯總（單位：萬元，億元）

圖表67：國家大基金一期投資情況（分行業）（單位：億元，%）

圖表68：國家大基金一期投資情況（分企業性質）（單位：%）

圖表69：《為“專精特新”中小企業辦實事清單》中財稅力度的加強

圖表70：《為“專精特新”中小企業辦實事清單》中信貸支持力度的加強

圖表71：《為“專精特新”中小企業辦實事清單》中市場化融資渠道的打通

圖表72：北交所與上交所、深交所的定位差異

圖表73：新三板企業在北京交易所的上市路徑

圖表74：截至2022年北交所上市的“專精特新”企業行業分布情況（單位：%）

圖表75：集成電路裝備與關鍵材料行業“專精特新”發展戰略支撐及保障

圖表76：集成電路裝備與關鍵材料行業國家級“專精特新”企業培育對象

圖表77：集成電路裝備與關鍵材料行業國家級“專精特新”企業培育方向

圖表78：集成電路裝備與關鍵材料行業國家級“專精特新”企業培育措施

圖表79：集成電路裝備與關鍵材料行業專精特新“小巨人”企業申報-基本條件

圖表80：集成電路裝備與關鍵材料行業專精特新“小巨人”企業申報-基本條件

圖表81：集成電路裝備與關鍵材料行業專精特新“小巨人”企業申報-專項條件

圖表82：集成電路裝備與關鍵材料行業專精特新“小巨人”企業申報-分類條件

圖表83：集成電路裝備與關鍵材料行業專精特新“小巨人”企業申報流程

圖表84：第一批至第三批專精特新“小巨人”企業數量情況（單位：家）

圖表85：截至第三批公示名單專精特新“小巨人”企業分布情況（單位：家）

圖表86：截至第三批公示名單專精特新“小巨人”企業三大區域分布情況（單位：家）

圖表87：第三批專精特新“小巨人”企業呈現出“6789”的特點

圖表88：截至第三批公示名單專精特新“小巨人”企業行業分布情況（單位：家，%）

圖表89：截至第三批公示名單專精特新“小巨人”上市企業行業分布情況（單位：家，%）

圖表90：截至第三批中國集成電路裝備與關鍵材料行業專精特新“小巨人”行業企業比例（單位：%）

圖表91：2018-2022年中國集成電路裝備與關鍵材料行業專精特新“小巨人”行業上市企業營收增速（單位：%）

圖表92：截至第三批中國集成電路裝備與關鍵材料行業專精特新“小巨人”行業上市企業營占比情況（單位：%）

圖表93：截至第三批中國集成電路裝備與關鍵材料行業專精特新“小巨人”企業行業分布情況（單位：%）

圖表94：2018-2022年中國集成電路裝備與關鍵材料行業專精特新“小巨人”上市企業行業集中度情況（按營業收入）（單位：%）

圖表95：中國集成電路裝備產業鏈結構

圖表96：中國集成電路關鍵材料產業鏈結構

圖表97：中國集成電路裝備產業鏈生態圖譜

圖表98：中國集成電路關鍵材料產業鏈結構

圖表99：2022年中國集成電路裝備代表性企業成本結構分析（單位：%）

圖表100：2022年中國集成電路裝備成本結構分析（單位：%）

圖表101：2022年中國集成電路關鍵材料代表性企業成本結構分析（單位：%）

圖表102：2022年中國集成電路關鍵材料成本結構分析（單位：%）

圖表103：中國集成電路裝備與關鍵材料行業價值鏈分析

圖表104：中國集成電路設備及關鍵原材料行業發展痛點分析

圖表105：2023-2028年中國集成電路裝備與關鍵材料技術路線

圖表106：中國集成電路裝備與關鍵材料產業鏈“專精特新”鼓勵布局方向

圖表107：2018-2022年中國集成電路光刻機市場規模（單位：億美元）

圖表108：2010-2022年中國集成電路光刻機行業專利申請量及授權量情況（單位：項，%）

圖表109：截至2022年中國集成電路光刻機熱門技術構成（單位：項，%）

圖表110：截至2022年全球集成電路光刻機技術地區占比情況（單位：%）

圖表111：2022年中國集成電路光刻機國產化率（單位：%）

圖表112：中國集成電路裝備與關鍵材料行業光刻機本土企業布局情況

圖表113：中國集成電路裝備與關鍵材料行業之光刻機發展痛點分析

圖表114：中國集成電路光刻機“專精特新”企業名單

圖表115：中國集成電路光刻機“專精特新”企業市場培育特征

圖表116：中國集成電路光刻機企業競爭格局

圖表117：中國集成電路光刻機區域競爭格局（單位：家）

圖表118：2023-2028年中國集成電路光刻機市場規模預測（單位：億美元）

圖表119：2018-2022年中國集成電路刻蝕設備市場規模（單位：億美元）

圖表120：2010-2022年中國集成電路刻蝕設備行業專利申請量及授權量情況（單位：項，%）

圖表121：截至2022年中國集成電路刻蝕設備熱門技術構成（單位：項，%）

圖表122：截至2022年全球集成電路刻蝕設備技術地區占比情況（單位：%）

圖表123：2020-2022年中國集成電路刻蝕設備國產化率（單位：%）

圖表124：中國集成電路裝備與關鍵材料行業之刻蝕設備本土企業布局情況

圖表125：中國集成電路裝備與關鍵材料行業之刻蝕設備發展痛點分析

圖表126：中國集成電路刻蝕設備“專精特新”企業名單

圖表127：中國集成電路刻蝕設備“專精特新”企業市場培育特征

圖表128：中國集成電路刻蝕設備“專精特新”產品培育情況

圖表129：中國集成電路刻蝕設備企業競爭格局

圖表130：中國集成電路刻蝕設備區域競爭格局（單位：家）

圖表131：2023-2028年中國集成電路刻蝕設備市場規模預測（單位：億美元）

圖表132：2018-2022年中國集成電路薄膜沉積設備市場規模（單位：億美元）

圖表133：2010-2022年中國集成電路薄膜沉積設備行業專利申請量及授權量情況（單位：項，%）

圖表134：截至2022年中國集成電路薄膜沉積設備熱門技術構成（單位：項，%）

圖表135：截至2022年全球集成電路薄膜沉積設備技術地區占比情況（單位：%）

圖表136：2020-2022年中國集成電路薄膜沉積設備國產化率（單位：%）

圖表137：中國集成電路裝備與關鍵材料行業之集成電路薄膜沉積設備本土企業布局情況

圖表138：中國集成電路裝備與關鍵材料行業之薄膜沉積設備發展痛點分析

圖表139：中國集成電路薄膜沉積設備“專精特新”企業名單

圖表140：中國集成電路薄膜沉積設備“專精特新”企業市場培育特征

圖表141：中國集成電路薄膜沉積設備企業競爭格局

圖表142：中國集成電路薄膜沉積設備區域競爭格局（單位：家）

圖表143：中國集成電路薄膜沉積設備發展前景分析

圖表144：2023-2028年中國集成電路薄膜沉積設備市場規模預測（單位：億美元）

圖表145：2018-2022年中國大陸集成電路硅片市場規模（單位：億美元）

圖表146：2010-2022年中國集成電路集成電路硅片行業專利申請量及授權量情況（單位：項，%）

圖表147：截至2022年中國集成電路硅片熱門技術構成（單位：項，%）

圖表148：截至2022年全球集成電路硅片技術地區占比情況（單位：%）

圖表149：2022年中國集成電路硅片國產化率（單位：%）

圖表150：中國集成電路裝備與關鍵材料行業之硅片本土企業布局情況

圖表151：中國集成電路裝備與關鍵材料行業之硅片發展痛點分析

圖表152：中國集成電路硅片“專精特新”企業名單

圖表153：中國集成電路硅片“專精特新”企業市場培育特征

圖表154：中國集成電路硅片“專精特新”產品培育情況

圖表155：中國集成電路硅片“專精特新”企業競爭格局分析（萬片/月）

圖表156：中國集成電路硅片區域競爭格局（單位：家）

圖表157：2023-2028年中國大陸集成電路硅片市場規模預測（單位：億美元）

圖表158：2016-2022年中國集成電路光刻膠市場規模（單位：億美元）

圖表159：2010-2022年中國集成電路光刻膠行業專利申請量及授權量情況（單位：項，%）

圖表160：截至2022年中國集成電路光刻膠熱門技術構成（單位：項，%）

圖表161：截至2022年全球集成電路光刻膠技術地區占比情況（單位：%）

圖表162：中國集成電路光刻膠國產化率情況（單位：%）

圖表163：中國集成電路裝備與關鍵材料行業之光刻膠本土企業布局情況

圖表164：中國集成電路裝備與關鍵材料行業之光刻膠發展痛點分析

圖表165：中國集成電路光刻膠“專精特新”企業名單

圖表166：中國集成電路光刻膠“專精特新”企業市場培育特征

圖表167：中國集成電路光刻膠“專精特新”產品培育情況

圖表168：中國集成電路光刻膠競爭格局

圖表169：中國集成電路光刻膠區域競爭格局（單位：家）

圖表170：2023-2028年中國集成電路光刻膠市場規模預測（單位：億美元）

圖表171：截至2022年中國集成電路裝備與關鍵材料行業研發平臺資源分布熱力圖（單位：個）

圖表172：截至2022年中國集成電路裝備與關鍵材料行業創新資源分布熱力圖（單位：個）

圖表173：中國集成電路裝備企業區域分布情況

圖表174：中國集成電路關鍵材料企業區域分布情況

圖表175：截至2022年中國集成電路裝備與關鍵材料產業園區分布熱力圖

圖表176：中國集成電路裝備與關鍵材料產業整體空間布局特點

圖表177：全國主要省市集成電路裝備與關鍵材料行業重點政策匯總及解讀

圖表178：全國31省市“專精特新”重點政策匯總及解讀

圖表179：全國31省市“專精特新”重點領域匯總

圖表180：全國31省市專精特新“高頻”產業關鍵詞匯總

圖表181：截至2022年中國各省市“專精特新”企業認定標準匯總

圖表182：截至2022年中國省級“專精特新”中小企業認定指標對比（單位：%）

圖表183：省級“專精特新”企業培育目的分析

圖表184：省級“專精特新”企業培育對象分析

圖表185：截至2022年中國“專精特新”企業重點培育內容解讀

圖表186：省級“專精特新”企業培育方案主要推進措施

圖表187：市級“專精特新”企業培育目的分析

圖表188：市級“專精特新”企業培育內容匯總

圖表189：市級“專精特新”企業培育方案推進措施解讀

圖表190：截至2022年集成電路裝備與關鍵材料行業省市級“專精特新”企業獎勵標準

圖表191：省級“專精特新”企業申報基本條件

圖表192：省級“專精特新”企業申報專項條件

圖表193：市級“專精特新”企業申報基本條件

圖表194：市級“專精特新”企業申報專項條件

圖表195：集成電路裝備與關鍵材料行業省市級“專精特新”企業申報流程

圖表196：截至2022年中國集成電路裝備與關鍵材料行業“專精特新”企業分布及上市公司數量梯隊情況（單位：家）

圖表197：截至2022年中國集成電路裝備與關鍵材料行業“專精特新”代表企業區域分布熱力圖

圖表198：“十四五”期間各省市集成電路裝備與關鍵材料行業“專精特新”政策熱力圖

圖表199：截至2022年各省市集成電路裝備與關鍵材料行業“專精特新”企業分布情況（單位：個）

圖表200：2022年中國集成電路裝備與關鍵材料行業代表性“小巨人”企業經營情況對比（單位：億元，%）

圖表201：天津中環半導體股份有限公司基本信息

圖表202：2018-2022年天津中環半導體股份有限公司主要經濟指標分析（單位：萬元）

圖表203：2018-2022年天津中環半導體股份有限公司盈利能力分析（單位：%）

圖表204：2018-2022年天津中環半導體股份有限公司運營能力分析（單位：次）

圖表205：2018-2022年天津中環半導體股份有限公司償債能力分析（單位：%，倍）

圖表206：2018-2022年天津中環半導體股份有限公司發展能力分析（單位：%）

圖表207：天津中環半導體股份有限公司產品結構分析

圖表208：2022年天津中環半導體股份有限公司產品產品結構（單位：%）

圖表209：2022年天津中環半導體股份有限公司產品銷售區域分布（單位：%）

圖表210：天津中環半導體股份有限公司主要產品及應用領域

圖表211：2020-2022年天津中環半導體股份有限公司半導體硅片生產情況（單位：百萬平方英寸，%）

圖表212：截至2022年天津中環半導體股份有限公司半導體材料生產項目（單位：萬元，%）

圖表213：截至2022年天津中環半導體股份有限公司半導體材料研發項目

圖表214：天津中環半導體股份有限公司優劣勢分析

圖表215：江蘇南大光電材料股份有限公司基本信息表

圖表216：2017-2022年江蘇南大光電材料股份有限公司主要經濟指標分析（單位：萬元）

圖表217：2017-2022年江蘇南大光電材料股份有限公司盈利能力分析（單位：%）

圖表218：2017-2022年江蘇南大光電材料股份有限公司運營能力分析（單位：次）

圖表219：2017-2022年江蘇南大光電材料股份有限公司償債能力分析（單位：%，倍）

圖表220：2017-2022年江蘇南大光電材料股份有限公司發展能力分析（單位：%）

圖表221：2022年江蘇南大光電材料股份有限公司整體業務架構（單位：%）

圖表222：2022年江蘇南大光電材料股份有限公司銷售地區占比（單位：%）

圖表223：截至2022年江蘇南大光電材料股份有限公司集成電路關鍵原材料業務

圖表224：2020-2022年江蘇南大光電材料股份有限公司產品產能情況（單位：kg，%）

圖表225：江蘇南大光電材料股份有限公司集成電路裝備與關鍵材料籌建項目（單位：萬元）

圖表226：江蘇南大光電材料股份有限公司集成電路裝備與關鍵材料研發項目

圖表227：2017-2022年江蘇南大光電材料股份有限公司研發投入情況（單位：萬元，%）

圖表228：江蘇南大光電材料股份有限公司集成電路裝備與關鍵材料業務布局優劣勢分析

圖表229：江陰江化微電子材料股份有限公司基本信息表

圖表230：2017-2022年江陰江化微電子材料股份有限公司主要經濟指標分析（單位：萬元）

圖表231：2017-2022年江陰江化微電子材料股份有限公司盈利能力分析（單位：%）

圖表232：2017-2022年江陰江化微電子材料股份有限公司運營能力分析（單位：次）

圖表233：2017-2022年江陰江化微電子材料股份有限公司償債能力分析（單位：%，倍）

圖表234：2017-2022年江陰江化微電子材料股份有限公司發展能力分析（單位：%）

圖表235：2022年江陰江化微電子材料股份有限公司銷售產品結構（單位：%）

圖表236：2022年江陰江化微電子材料股份有限公司銷售網絡結構（單位：%）

圖表237：2022年江陰江化微電子材料股份有限公司集成電路裝備與關鍵材料業務布局情況

圖表238：截至2022年江陰江化微電子材料股份有限公司集成電路裝備與關鍵材料項目產能情況（單位：萬噸/年，%）

圖表239：2017-2022年江陰江化微電子材料股份有限公司研發投入情況（單位：萬元，%）

圖表240：江陰江化微電子材料股份有限公司純化工藝流程簡要示意圖

圖表241：江陰江化微電子材料股份有限公司混配工藝流程簡要示意圖

圖表242：江陰江化微電子材料股份有限公司集成電路裝備與關鍵材料業務布局優劣勢分析

圖表243：福建阿石創新材料股份有限公司基本信息表

圖表244：2017-2022年福建阿石創新材料股份有限公司主要經濟指標分析（單位：萬元）

圖表245：2017-2022年福建阿石創新材料股份有限公司盈利能力分析（單位：%）

圖表246：2017-2022年福建阿石創新材料股份有限公司運營能力分析（單位：次）

圖表247：2017-2022年福建阿石創新材料股份有限公司償債能力分析（單位：%，倍）

圖表248：2017-2022年福建阿石創新材料股份有限公司發展能力分析（單位：%）

圖表249：福建阿石創新材料股份有限公司業務結構

圖表250：2022年福建阿石創新材料股份有限公司業務銷售網絡（單位：%）

圖表251：截至2022年福建阿石創新材料股份有限公司半導體材料業務介紹

圖表252：截至2022年福建阿石創新材料股份有限公司半導體材料投入項目情況（單位：萬元，%）

圖表253：截至2022年福建阿石創新材料股份有限公司半導體材料研發項目分析

圖表254：福建阿石創新材料股份有限公司發展半導體材料業務的優劣勢分析

圖表255：安集微電子科技（上海）股份有限公司基本信息表

圖表256：2018-2022年安集微電子科技（上海）股份有限公司主要經濟指標分析（單位：萬元）

圖表257：2018-2022年安集微電子科技（上海）股份有限公司盈利能力分析（單位：%）

圖表258：2018-2022年安集微電子科技（上海）股份有限公司運營能力分析（單位：次）

圖表259：2018-2022年安集微電子科技（上海）股份有限公司償債能力分析（單位：%，倍）

圖表260：2018-2022年安集微電子科技（上海）股份有限公司發展能力分析（單位：%）

圖表261：安集微電子科技（上海）股份有限公司業務結構

圖表262：2022年安集微電子科技（上海）股份有限公司銷售網絡（單位：%）

圖表263：截至2022年安集微電子科技（上海）股份有限公司集成電路裝備與關鍵材料業務

圖表264：截至2022年安集微電子科技（上海）股份有限公司集成電路關鍵材料產銷量（單位：噸，%）

圖表265：截至2022年安集微電子科技（上海）股份有限公司集成電路關鍵材料研發項目（單位：萬元）

圖表266：截至2022年安集微電子科技（上海）股份有限公司知識產權獲取情況（單位：個）

圖表267：安集微電子科技（上海）股份有限公司發展半導體材料業務的優劣勢分析

圖表268：杭州長川科技股份有限公司基本信息表

圖表269：截至2022年杭州長川科技股份有限公司股權結構（單位：%）

圖表270：2017-2022年杭州長川科技股份有限公司主要經濟指標（單位：萬元）

圖表271：2017-2022年杭州長川科技股份有限公司盈利能力分析（單位：%）

圖表272：2017-2022年杭州長川科技股份有限公司營運能力分析（單位：次）

圖表273：2017-2022年杭州長川科技股份有限公司償債能力分析（單位：%，倍）

圖表274：2017-2022年杭州長川科技股份有限公司發展能力分析（單位：%）

圖表275：杭州長川科技股份有限公司整體業務架構

圖表276：2022年杭州長川科技股份有限公司產品結構分析（單位：億元，%）

圖表277：2022年杭州長川科技股份有限公司產品收入分地區結構（單位：億元，%）

圖表278：截至2022年杭州長川科技股份有限公司產品情況

圖表279：2020-2022年杭州長川科技股份有限公司產品情況（單位：臺，%）

圖表280：2019-2022年杭州長川科技股份有限公司研發投入情況（單位：元，%）

圖表281：杭州長川科技股份有限公司集成電路裝備與關鍵材料業務優劣勢分析

圖表282：上海至純潔凈系統科技股份有限公司基本信息表

圖表283：2017-2022年上海至純潔凈系統科技股份有限公司主要經濟指標分析（單位：萬元）

圖表284：2017-2022年上海至純潔凈系統科技股份有限公司盈利能力分析（單位：%）

圖表285：2017-2022年上海至純潔凈系統科技股份有限公司運營能力分析（單位：次）

圖表286：2017-2022年上海至純潔凈系統科技股份有限公司償債能力分析（單位：%，倍）

圖表287：2017-2022年上海至純潔凈系統科技股份有限公司發展能力分析（單位：%）

圖表288：2022年上海至純潔凈系統科技股份有限公司業務結構（單位：%）

圖表289：2022年上海至純潔凈系統科技股份有限公司營業收入區域分布（單位：%）

圖表290：上海至純潔凈系統科技股份有限公司集成電路裝備與關鍵材料業務類型及情況

圖表291：2022年上海至純潔凈系統科技股份有限公司研發投入情況（單位：萬元，%）

圖表292：上海至純潔凈系統科技股份有限公司集成電路裝備與關鍵材料業務優劣勢分析

圖表293：沈陽芯源微電子設備股份有限公司基本信息表

圖表294：2018-2022年沈陽芯源微電子設備股份有限公司主要經濟指標分析（單位：萬元）

圖表295：2018-2022年沈陽芯源微電子設備股份有限公司盈利能力分析（單位：%）

圖表296：2018-2022年沈陽芯源微電子設備股份有限公司運營能力分析（單位：次）

圖表297：2018-2022年沈陽芯源微電子設備股份有限公司償債能力分析（單位：%，倍）

圖表298：2018-2022年沈陽芯源微電子設備股份有限公司發展能力分析（單位：%）

圖表299：2022年沈陽芯源微電子設備股份有限公司銷售網絡（單位：%）

圖表300：2022年沈陽芯源微電子設備股份有限公司銷售網絡（單位：%）

圖表301：截至2022年沈陽芯源微電子設備股份有限公司主營業務及客戶情況

圖表302：截至2022年沈陽芯源微電子設備股份有限公司半導體專用設備布局情況

圖表303：截至2022年沈陽芯源微電子設備股份有限公司核心技術情況

圖表304：沈陽芯源微電子設備股份有限公司集成電路裝備與關鍵材料業務布局優劣勢分析

圖表305：多氟多化工股份有限公司基本信息表

圖表306：2017-2022年多氟多化工股份有限公司主要經濟指標分析（單位：萬元）

圖表307：2017-2022年多氟多化工股份有限公司盈利能力分析（單位：%）

圖表308：2017-2022年多氟多化工股份有限公司運營能力分析（單位：次）

圖表309：2017-2022年多氟多化工股份有限公司償債能力分析（單位：%，倍）

圖表310：2017-2022年多氟多化工股份有限公司發展能力分析（單位：%）

圖表311：2022年多氟多化工股份有限公司產品結構（按營收）（單位：%）

圖表312：2022年多氟多化工股份有限公司產品銷售區域分布（按營收）（單位：%）

圖表313：截至2022年多氟多化工股份有限公司集成電路裝備與關鍵材料業務介紹

圖表314：截至2022年多氟多化工股份有限公司集成電路裝備與關鍵材料產能（單位：噸/年，%）

圖表315：截至2022年多氟多化工股份有限公司集成電路裝備與關鍵材料主要化工園區

圖表316：截至2022年多氟多化工股份有限公司集成電路裝備與關鍵材料研發投入項目

圖表317：多氟多化工股份有限公司優劣勢分析

圖表318：浙江晶盛機電股份有限公司基本信息表

圖表319：2018-2022年浙江晶盛機電股份有限公司主要經濟指標分析（單位：萬元）

圖表320：2018-2022年浙江晶盛機電股份有限公司盈利能力分析（單位：%）

圖表321：2018-2022年浙江晶盛機電股份有限公司運營能力分析（單位：次）

圖表322：2018-2022年浙江晶盛機電股份有限公司償債能力分析（單位：%，倍）

圖表323：2018-2022年浙江晶盛機電股份有限公司發展能力分析（單位：%）

圖表324：截至2022年浙江晶盛機電股份有限公司業務結構

圖表325：2022年浙江晶盛機電股份有限公司銷售網絡布局（單位：%）

圖表326：截至2022年浙江晶盛機電股份有限公司集成電路裝備與關鍵材料業務產品

圖表327：截至2022年浙江晶盛機電股份有限公司集成電路裝備與關鍵材料項目建設情況

圖表328：2019-2022年浙江晶盛機電股份有限公司研發投入情況（單位：萬元，%）

圖表329：浙江晶盛機電股份有限公司集成電路裝備與關鍵材料業務布局優劣勢分析

圖表330：2023-2028年中國大陸半導體設備及關鍵材料行業市場規模預測（單位：億美元）

圖表331：中國集成電路裝備與關鍵材料行業發展趨勢預判

圖表332：中國集成電路裝備與關鍵材料領域專精特新“小巨人”企業數量

圖表333：至2025年中國“百十萬千”中小企業梯度培育體系

圖表334：至2025年中國集成電路裝備與關鍵材料領域專精特新“小巨人”企業（國家級）數量預測（單位：家）

圖表335：集成電路裝備及關鍵材料行業進入壁壘分析

圖表336：集成電路裝備及關鍵原材料行業技術風險分析

圖表337：中國集成電路裝備與關鍵材料行業“專精特新”領域投資價值評估

圖表338：集成電路制造產業價值傳導

圖表339：全球半導體設備子系統市場構成（單位：%）

圖表340：中國集成電路裝備與關鍵材料行業投資策略與建議

圖表341：中國集成電路裝備與關鍵材料行業“專精特新”企業發展建議

圖表342：中國集成電路裝備與關鍵材料行業“專精特新”政府發展建議